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  • 高速精密运动平台的两级光栅定位方法
  • 高速精密运动平台的两级光栅定位方法
  • 高速精密运动平台的两级光栅定位方法
  • 高速精密运动平台的两级光栅定位方法
  • 高速精密运动平台的两级光栅定位方法

本发明公开了一种高速精密运动平台的两级光栅定位方法,该高速精密运动平台的两级光栅定位方法包括以下步骤:由增量光栅提供位置反馈信号,控制电机进行初级位置进给;切换位置反馈信号;采用绝对光栅的位置反馈信号进行闭环控制。本发明通过增量式光栅与绝对光栅的组合与切换控制,实现宏微运动平台高速运动下的高精度定位,解决了运动平台的大行程高速运动与高精度定位的矛盾,实现了宏微运动平台高速运动下的高精度定位。

分类:B:作业,运输 发布日期:2017-03-01

发明专利 转让 授权
  • 基于压电陶瓷的高速高精度宏微平台及切换方法
  • 基于压电陶瓷的高速高精度宏微平台及切换方法

本发明是一种基于压电陶瓷的高速高精度宏微平台及切换方法。包括平台底板及音圈电机,平台底板安装在隔振基座上,音圈电机安装在平台底板的一侧,音圈电机包括有音圈电机外壳、音圈电机磁铁组件、音圈电机线圈、音圈电机线性编码器、电机轴连接架。本发明由于采用由音圈电机驱动平台进行大行程高速的进给,压电陶瓷直接连接在音圈电机的输出轴上的结构,因此,本发明结构紧凑,易于反馈控制。此外,平台上安装有压电陶瓷,通过施加反向作用力,起到高速运动平台的减振作用,能有效地解决高加速度运动过程平台振动大、难于快速稳定的问题;在平台稳定后压电陶瓷则切换功能,用于驱动微平台运动,并通过绝对光栅的闭环控制,实现平台微运动的精密定位。

分类:B:作业,运输 发布日期:2017-03-01

发明专利 转让 授权
  • 一种基于氮化镓的静电梳状驱动式微镜
  • 一种基于氮化镓的静电梳状驱动式微镜

本实用新型是一种基于硅基氮化镓的静电梳状驱动式微镜。该微镜是将氮化镓材料生长在硅上,总共包含两层,下层为衬底层,材料为硅,由可动梳齿,固定梳齿,悬臂梁,微镜构成,可动梳齿与固定梳齿非等高度。上层在下层的基础上生长了一层薄薄的氮化镓材料结构。该器件工作时利用梳状电容之间异性电荷的库仑力对微镜进行驱动,由于氮化镓材料特有的性质,因此可以获得较为理想的驱动效果。本实用新型结构简单,参数易设计,创新性的在静电梳状驱动式微镜上生长氮化镓结构,在光通信和MEMS领域都有较好的应用前景和参考价值。

分类:B:作业,运输 发布日期:2017-02-23

实用新型专利 转让 授权
  • 一种可控制备纳米或微米器件的方法

本发明公布了一种可控制备单根(数根)氧化锌(ZnO)纳米或微米器件的方法。利用水热法生长出了直径约100-300nm、长度20-30μm的ZnO纳米/微米棒。在显微镜下用介电电泳法可控地将单根ZnO棒组装在电极之间。本发明很好地解决了ZnO纳米/微米材料器件化中单根纳米材料的分离及可控搭建纳米器件这两个难题。该纳米/微米器件可应用于气体传感、紫外传感、生物传感(如智能药物胶囊)以及其它纳米/微米光电器件等。

分类:B:作业,运输 发布日期:2017-02-23

发明专利 转让 授权
  • 微机电麦克风的封装结构
  • 微机电麦克风的封装结构

本实用新型涉及一种封装结构,提供一种微机电麦克风的封装结构,包括 上盖、底板和微机电麦克风芯片,所述上盖和底板形成一通过声孔与外部连通 的空间,空间内的底板上设置有微机电麦克风芯片,其中,所述封装结构还具 有一层塑封胶,所述塑封胶置于所述上盖的外表面并与底板连接。本实用新型 的微机电麦克风的封装结构采用在现有的封装结构的基础上增加了一层塑封胶 层的技术,不仅可以提高封装的强度,还可以提高封装的密封性能,提高了微 机电麦克风的可靠性。

分类:B:作业,运输 发布日期:2017-02-08

实用新型专利 转让 授权
  • 微机电系统
  • 微机电系统
  • 微机电系统
  • 微机电系统

一种微机电系统,其包括微机电芯片及一个电路板,所述微机电芯片具有一个封装连接 区,所述封装连接区内形成有至少一个连接垫,其特征在于,所述微机电系统还包括压合于 所述封装连接区的一层电性连接层以及一个第一电路板,所述第一电路板包括第一连接垫及 与第一连接垫相连的第二连接垫,所述电性连接层设置于所述封装连接区与所述第一电路板 之间并将所述封装连接区内的连接垫电连接至所述第一连接垫,所述第二连接垫通过导线电 连接至所述第一电路板。所述微机电系统可容易采用细铜线与其他电路板作电连接,整体微 机电系统体积得以降低。

分类:B:作业,运输 发布日期:2017-01-23

发明专利 转让 授权